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最初的真空計(jì)是由托里拆利制作的一端封閉充滿水銀的細(xì)長玻璃管發(fā)明的。根據(jù)測量的真空度范圍和使用環(huán)境，現(xiàn)在最常使用的真空計(jì)有電容式隔膜真空計(jì)、熱電偶真空計(jì)、熱陰極電離真空計(jì)和冷陰極電離真空計(jì)。


 
　　這幾種真空計(jì)利用了不同的物理現(xiàn)象，其中電容式隔膜真空計(jì)利用的是力，熱電偶真空計(jì)利用的是熱傳導(dǎo)，電離真空計(jì)利用的是真空放電。


　　選用真空計(jì)時(shí)應(yīng)該注意以下事項(xiàng)：


　　一：在設(shè)備要求的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，真空計(jì)是否有足夠的測量精度；


　　二：被測氣體是否會對真空計(jì)造成損傷；


　　三：真空計(jì)是否會對被測真空環(huán)境造成影響；


　　四：真空計(jì)所測壓強(qiáng)是全壓還是分壓，是否已校準(zhǔn)，是否與氣體種類有關(guān)；


　　五：真空計(jì)能否實(shí)現(xiàn)連續(xù)測量，數(shù)值指示及反應(yīng)時(shí)間如何；


　　六：真空計(jì)的穩(wěn)定性、可靠性、壽命。